一、概述

微小口径电磁流量计专为小流量、高精度测量场景设计，通常指口径在DN1~DN15范围内的电磁流量计。其特点是结构紧凑、响应速度快，适用于实验室、医药、化工添加剂、半导体等行业的微小流量精确计量，尤其适合高价值或高腐蚀性介质。

二、产品说明

1. 核心功能

• 测量微小流量（最低可达0.1mL/min），精度高达±0.2%~±0.5%。

• 全通径设计，无阻流部件，避免介质残留或堵塞。

• 支持腐蚀性、高纯度或卫生级介质（如超纯水、药液、化学试剂）。

2. 适用场景

• 实验室流体实验、半导体晶圆清洗液计量

• 医药行业注射泵流量监控、化工微量添加剂配比

• 食品行业香料或色素添加控制

3. 特殊设计

• 一体式结构：减少信号衰减，提升抗干扰能力。

• 多电极配置：部分型号采用四电极设计，进一步降低噪声影响。

三、技术参数

四、结构原理

1. 结构组成

• 微型测量管：内径极小（可至1mm），内衬绝缘材料（如PFA）。

• 微型电极：直径≤1mm，材质耐腐蚀（如铂铱用于强酸）。

• 高频励磁系统：采用低频矩形波或双频励磁，抑制极化干扰。

2. 工作原理

• 基于法拉第电磁感应定律，通过高频磁场激励，微小流量产生的感应信号经放大和滤波处理。

• 采用数字信号处理（DSP）技术，消除噪声干扰，提升低流量分辨率。

3. 微小流量优化设计

• 低流速补偿算法：解决低电导率介质信号弱的问题。

• 零漂校准：自动温度补偿，减少环境因素影响。

五、选型参考

1. 选型关键因素

• 介质特性：电导率、腐蚀性、是否含颗粒（如半导体浆料需碳化钨电极）。

• 流量范围：选择口径时需确保最小流速>0.1m/s（避免信号不稳）。

• 清洁要求：生物医药需无菌设计，半导体行业需无金属离子污染。

2. 选型步骤

• 步骤1：确认最小/最大流量，选择对应口径（如1L/min选DN4）。

• 步骤2：根据介质腐蚀性选电极/衬里（如氢氟酸用钽电极+PFA衬里）。

• 步骤3：确定输出需求（如实验室用RS232，工业现场用4-20mA）。

3. 示例选型表

   介质	流量范围	口径	电极材料	衬里材料	适用型号
   超纯水	10-500mL/min	DN2	铂铱	陶瓷	EM-M2/Pt/Ceramic
   30%硫酸	0.5-5L/min	DN6	钽	PTFE	EM-M6/Ta/PTFE
   半导体研磨液	1-20L/min	DN10	碳化钨	PFA	EM-M10/WC/PFA

六、注意事项

• 安装要求：必须水平安装，确保满管；避免振动或磁场干扰。

• 维护建议：定期用去离子水冲洗，防止电极结垢；超纯水测量时需接地环。

• 校准周期：高精度场景建议每6个月校准一次。